【摘要】
激光器是20世紀的四大發(fā)明之一,在晶片加工中占有重要地位。本發(fā)明所研制的芯片是以激光切割為核心原料,完全滿足晶圓切割的要求,可有效避免砂輪切割問題。
激光是二十世紀的四大發(fā)明之一。除了原子能、電腦、半導體之外,人類發(fā)現(xiàn),2019年全球激光市場規(guī)模達151.3億美元。根據(jù)波段分布情況,激光波長越長,技術難度就越大,而民用和軍用領域需求巨大,市場空間巨大。
制片設備和芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是密不可分的,隨著國內(nèi)半導體市場的擴大,芯片需求也在快速增長。近幾年來,隨著中國大陸半導體設備市場份額的不斷擴大、產(chǎn)能不斷擴大,以及國內(nèi)外壓力,中國大陸半導體設備市場份額及全球半導體設備市場規(guī)模逐年增長。2020年,中國大陸半導體設備市場規(guī)模為26.33%,較2014年的11.73%增長了14.6%。
在芯片制造中,激光切割機扮演的角色是什么?
激光器是20世紀的四大發(fā)明之一,在晶片加工中占有重要地位。本發(fā)明所研制的芯片是以激光切割為核心原料,完全滿足晶圓切割的要求,可有效避免砂輪切割問題。
1.非接觸加工:激光加工只需激光束與加工件接觸,切割件不會受到切削力的影響,不會損傷被加工材料表面。
2.加工精度高、熱影響小:脈沖激光的瞬時功率大,能量密度高,平均功率低,加工能瞬間完成,熱影響范圍小,精度要求高,受熱面小。
3.加工效率高,經(jīng)濟效益好:激光的加工效率通常是機械加工的數(shù)倍,無消耗材料無污染。半導體晶片激光隱形切割技術是一項全新的激光切割技術,具有切割速度快、無粉塵、切割不產(chǎn)生粉塵、對基材無損失、切割路徑小、完全干燥等優(yōu)點。
它的基本原理是對短脈沖激光光束在材料表面進行聚焦,在材料中間形成鈣層,再通過外壓將芯片分離開來。
在半導體工業(yè)中,激光切割設備被廣泛使用。近幾年,激光設備在國內(nèi)發(fā)展迅速。近幾年,國內(nèi)芯片應用呈現(xiàn)多樣化發(fā)展。智能機、物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、5G、人工智能等行業(yè)的芯片需求不斷增長,對芯片的質量和可靠性提出了更高的要求。今后,國內(nèi)半導體市場將給國產(chǎn)設備帶來巨大的發(fā)展機遇。
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