【摘要】
在超薄金屬材料、銅箔、不銹鋼箔、鈦合金箔、鎳合金箔等材料加工工具領(lǐng)域，采用刀模切割或化學(xué)蝕刻法。
在超薄金屬材料、銅箔、不銹鋼箔、鈦合金箔、鎳合金箔等材料加工工具領(lǐng)域，采用刀模切割或化學(xué)蝕刻法。隨著需求的不斷增加，特別是在5G、航空航天、衛(wèi)星等領(lǐng)域的高標(biāo)準(zhǔn)要求下，傳統(tǒng)的工藝模式逐漸變得虛弱。舉例來(lái)說(shuō)，刀模切割會(huì)產(chǎn)生變形和毛刺殘留，影響產(chǎn)品性能；化學(xué)蝕刻方式加工需要網(wǎng)版，特別是對(duì)于多規(guī)格的材料加工所需網(wǎng)版數(shù)量大，不利于各種產(chǎn)品的加工。此外，化學(xué)蝕刻對(duì)環(huán)境污染嚴(yán)重，尤其是在環(huán)?？刂频膲毫ο拢絹?lái)越多的化學(xué)蝕刻加工廠被撤離，給加工企業(yè)帶來(lái)了很多麻煩。以此為前提，激光切割超薄金屬箔的工藝方法進(jìn)入了相關(guān)領(lǐng)域，為該行業(yè)的發(fā)展提供了新的思路。
目前，超薄金屬材料超過(guò)激光開(kāi)發(fā)的皮秒紫外激光切割機(jī)應(yīng)用于不銹鋼箔、銅箔、鎳合金箔、鈦合金箔等材料的切割。與納秒激光切割設(shè)備相比，皮秒激光切割機(jī)優(yōu)勢(shì)明顯，無(wú)毛刺、變形、熱影響低，碳化程度低于2微米。
皮秒激光切割機(jī)靈活性高，不僅可以切割超薄金屬材料，還可以對(duì)多層材料的腐蝕或材料表面的微納導(dǎo)流結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工，如硅片、不銹鋼光柵、陶瓷、薄膜材料、玻璃等。
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